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Investition

Reinraum für Hochdruck-Halbleiterfertigung

27.03.2026
von Daniel Schilling
Maximator Reinraum

Maximator hat am Standort Nordhausen einen neuen Reinraum in Betrieb genommen, der auf die Fertigung hochreiner Hochdruck-Komponenten und Gasverdichtersysteme für die Halbleiterindustrie ausgelegt ist.

Die Investition beträgt rund 250.000 Euro bei einer Bauzeit von etwa vier Monaten. Der Reinraum erfüllt die Anforderungen der ISO-Klasse 6 nach ISO 14644-1 und umfasst eine rund 60 Quadratmeter große Produktionsfläche sowie Technik- und Verkehrsareale. Die Struktur ist in die Zonen unrein, rein und hochrein unterteilt. Ein Druckstufenkonzept mit circa 30 Pascal Differenz sorgt dafür, dass Luft stets von den reineren in die weniger reinen Bereiche strömt und so der Partikeleintrag in kritische Zonen verhindert wird. Der Zugang erfolgt über Personal- und Materialschleusen.

Neben Gasverdichtersystemen soll der Reinraum künftig auch für die Montage und Abnahme weiterer Baugruppen der Hochdrucktechnik genutzt werden, etwa für Pumpen oder Ventile. Planung und Realisierung der Reinraumstruktur erfolgten in Zusammenarbeit mit dem Industrietechnik-Spezialisten Item. Neben der Halbleitertechnik zielt Maximator mit der neuen Infrastruktur auf weitere Branchen mit hohen Reinheitsanforderungen, darunter Medizintechnik, Lebensmitteltechnologie, Pharma- und Biotechnologie sowie Luft- und Raumfahrttechnik.

Zum Unternehmen

 

Quelle: Maximator

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